- 产品描述
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半导体行业:高纯度化学品、电子气体的输送和控制。
光伏行业:硅料、硅片、电池片等生产过程中高纯度介质的输送和控制。
电子化学品行业:蚀刻液、清洗剂、光刻胶等电子化学品的输送和控制。
医药行业:原料药、中间体、制剂等生产过程中高纯度介质的输送和控制。
食品行业:饮料、酒类、乳制品等食品介质的输送和控制。
使用介质 化学品,超纯水,空气,氮气
介质温度 5~120°C 环境温度 5~60℃ 结构耐压 1.0MPa 工作压力范围(COM) 0~0.5MPa 工作压力范围(NC) 0~0.5MPa 工作压力范围(NO) 0~0.3MPa 执行器控制压力 0.4~0.6MPa 泄漏率 Ocm³/min(水23℃) 频率 20次/分钟以下 
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