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半导体行业:高纯度化学品、电子气体的输送和控制。
光伏行业:硅料、硅片、电池片等生产过程中高纯度介质的输送和控制。
电子化学品行业:蚀刻液、清洗剂、光刻胶等电子化学品的输送和控制。
医药行业:原料药、中间体、制剂等生产过程中高纯度介质的输送和控制。
食品行业:饮料、酒类、乳制品等食品介质的输送和控制。
| 使用介质 |
化学品,超纯水,空气,氮气 |
| 介质温度 | 5~120°C |
| 环境温度 | 5~60℃ |
| 结构耐压 | 1.0MPa |
| 工作压力范围(COM) | 0~0.5MPa |
| 工作压力范围(NC) | 0~0.5MPa |
| 工作压力范围(NO) | 0~0.3MPa |
| 执行器控制压力 | 0.4~0.6MPa |
| 泄漏率 | Ocm³/min(水23℃) |
| 频率 | 20次/分钟以下 |
