超声波流量传感器
产品系列
产品系列
产品特点：
1.符合电磁兼容性标准:EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013;
2.符合RoHS标准;
3.探测器电缆可拆卸,配有连接器;
4.可测量运动粘度高达40平方毫米/秒的液体;
5.精度:在流速为1 米/秒或更高时,读数误差在±1以内;
6.量程比高达100:1(典型值);
7.探测器结构高度清洁;
8.耐腐蚀且易于安装。
适用介质：
1.半导体制造过程中的纯水和超纯水
2.化学品投加
3.高腐蚀性化学品
4.化学机械抛光(CMP)浆料
5.中小流量的工艺液体
6.适用于清洗和 CMP工艺的流量测量和控制的理想选择
工作原理：
测量流体流入U型管，方向改变两次90度，流出如图1所示。两个压电传感器A和B安装在测量段的两端。它们交替发射和接收超声波，并测量通过液体的传播时间tA(A到B)和tB(B到A)。没有流动时，tA等于tB。随着流量的增加，tA随流量的增加而变短，tB随流量的增加而变长。这样，计算tB-tA就得到了液体的流速。tA和tB取决于管道的大小和形状以及液体粘度。实际流量测试数据存储在转换器的线性器中，这使得流量计能够高精度
地测量流量。
| 产品名称 | 探入式超声波流量计 |
| 流体压力 | 0-0.5Mpa |
| 流体声速 | 1000-2200m/s |
| 流体运动速度 | 0.3-0.4mm/s |
| 过程连接 | PFA管 |
| 连接管尺寸 | 3/8”外径 |
| 材料 | 阀体(湿部件):新型PFA,无PFOA传感器和电缆帽 |
| 端面密封 | 氟碳橡胶 |
| 公称尺寸 | X9176:4mm |
| 流量计形状 | U形； |
| 流量范围 | X9176:最小0-200ml/min,最大0-3000ml/min |
| 精度 | X9176:流量≥200mL/min时读数±1%,<200ml/min时读数±2ml |
| 电缆 | 2线制同轴电缆信号输入，护线材质PVC,长度：5米 |
| 压力损失 | C*Q²,单位Kpa,标准环境温度下的水。C=1.22(X9176)C=0.53(X9208) |
安装注意事项：
1.为确保测量准确、稳定,安装过程中请勿弯曲连接管,以免管道产生应力。
2.为确保测量准确、稳定,将液体温度稳定在±5°℃以内。即使不使用仪器,也要保持仪器的压力,以避免产生气泡。
3.保持测量管内充满液体。
4.虽然该仪器可以安装水平、垂直或倾斜油管,但建议选择一个便于自动排水的位置。
5.如有必要,在仪器下游安装控制阀。
6.将流量检测器和转换器安装在远离电源继电器、电磁阀等噪声源的地方。
7.信号线缆的布放应远离高压或电流较大的电源线。
8.配件的连接方法请参见各厂家的相关资料。
