LFC流量控制器
迅势LFC-8000系列流量控制器，接口为扩口式流量控制器专为半导体行业的高纯度应用而设计。其接触液体的部件由聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷基(PFA)或其他类似的高纯度惰性材料制成。
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工作原理：
用户通过模拟量设定目标流量值，当实际流量高于目标流量，阀门向关阀方向移动，当实际流量低于目标流量，阀门向开阀方向移动，直到实际流量达到目标流量。
性能指标：
| 供液压力 | 入口处工业压力必须在69KPa-414KPa之间，最小工作压力69KPa但达不到做大量程流量 |
| 电源供电 | 电压DC24V±10%，电流2A |
| 环境温度 | 10℃至65°℃(50°F至149°F) |
| 存储温度 | -15°℃至40°C(-5°F至104°F) |
| 控制精度 | ±1%FS(有效范围10%-100%) |
| 响应时间 | <=3s |
